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產品中心

超純去離子水(DIW))加熱系統

功率 : 40 KW-225 KW

電壓 : 200 VAC-480 VAC, 3-ph

*高溫度 : 90°C

溫控精度 : +/-1°C(廠務在入口提供溫度、流量穩(wěn)定的DIW前提下)

*大流量 : 4OL/min

進水壓力 : 0.2MPa-1MPa


概述

產品介紹

超純去離子水(DIW)加熱系統,與液體接觸的表面全部是超純PVDF/PFA材料,確保整個加熱過程的超純條通過PLC溫度*控制技術,提供穩(wěn)定、*的溫度輸出功率范圍從40KW到225KW。

產品主要組成部分

  • 加熱元件: 去離子加熱系統通常包括一個或多個加熱元件,用于升溫。
  • 溫度控制器: 系統配備了高精度的溫度控制器,以確保去離子水的溫度保持在所需的范圍內。這對于半導體工藝和其他高精度應用非常重要。
  • 高純度水供應: 我司配有高純度水用于測試,保證設備出廠的管道潔凈度
  • 管道和連接件: 用于輸送DIW的管道和連接件通常采用高純度材料,以減少污染的風險。
  • 安全設備:去離子加熱系統通常配備了安全設備,如液位傳感器、溫度傳感器和過熱保護,以防止意外泄漏或過熱情況。其中包含:液位傳感器,熱熔斷,接地故障斷路器,壓力安全閥,流量傳感器,PLC控制

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